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          PR式等離子處理設備
          產品簡介
          真空等離子體處理設備適用于產品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝,可以用于處理各種材料,包括高分子材料,金屬或半導體等。
          產品優勢
          • 人機交互系統
          • 適用于結構復雜的3D工件
          • 不改變機體固有特性,改性僅發生在表面
          • 全程干法處理,無污染
          • 低溫處理,適用于熱敏感材料
          • 高穩定性,使用壽命長
          • 低能耗,低保養費用
          產品應用
          • 生物醫療:培養皿,生物導管,等離子殺菌
          • 電子行業:半導體,PCB
          • 光學玻璃
          • 汽車行業
          • 手機行業
          • 涂裝印刷
          • 家用電器
          • 合成纖維
          產品參數
          供給需求
          • 電源:380V/50Hz,三相,15A
          • 工藝氣體:輸入壓力0.2MPA
          • 吹掃氣體:輸入壓力0.2MPA
          • 壓縮空氣:輸入壓力0.6MPA
          可選配置
          • 1%精度的真空規
          • 循環水冷機
          • 壓力控制器
          • 指示燈柱
          • 耐腐蝕性氣體的MFC
          • 真空泵

          設備型號

          技術配置

          PR-80

          PR-130

          外形尺寸

          980x950x1650mm

          1050x1020x1750mm

          反應腔尺寸

          450x400x450mm

          530x520x460

          真空腔體材料

          鎂鋁或316不銹鋼

          真空泵

          油泵/干泵(羅茨組合)

          角閥

          超高真空KF40

          流量控制器及顯示儀

          MKS 0-500 sccm

          真空顯示規管及讀取器

          ULVAC,INFICON

          射頻電源

          13.56 MHZ

          PLC系統

          西門子

          電器系統

          施耐德

          變頻器

          西門子2KW

          觸摸屏

          10.7寸

          處理氣體

          O2 Ar2 N2 H2 CF4

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