PR式等離子處理設備 產品簡介 真空等離子體處理設備適用于產品表面凈化、活化、粗化、刻蝕及接枝，可以用于處理各種材料，包括高分子材料，金屬或半導體等。 產品優勢
- 人機交互系統
- 適用于結構復雜的3D工件
- 不改變機體固有特性，改性僅發生在表面
- 全程干法處理，無污染
- 低溫處理，適用于熱敏感材料
- 高穩定性，使用壽命長
- 低能耗，低保養費用
產品應用
- 生物醫療：培養皿，生物導管，等離子殺菌
- 電子行業：半導體，PCB
- 光學玻璃
- 汽車行業
- 手機行業
- 涂裝印刷
- 家用電器
- 合成纖維
產品參數 供給需求
- 電源：380V/50Hz，三相，15A
- 工藝氣體：輸入壓力0.2MPA
- 吹掃氣體：輸入壓力0.2MPA
- 壓縮空氣：輸入壓力0.6MPA
可選配置
- 1%精度的真空規
- 循環水冷機
- 壓力控制器
- 指示燈柱
- 耐腐蝕性氣體的MFC
- 真空泵
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設備型號
技術配置 |
PR-80 |
PR-130 |
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外形尺寸 |
980x950x1650mm |
1050x1020x1750mm |
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反應腔尺寸 |
450x400x450mm |
530x520x460 |
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真空腔體材料 |
鎂鋁或316不銹鋼 |
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真空泵 |
油泵/干泵（羅茨組合） |
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角閥 |
超高真空KF40 |
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流量控制器及顯示儀 |
MKS 0-500 sccm |
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真空顯示規管及讀取器 |
ULVAC，INFICON |
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射頻電源 |
13.56 MHZ |
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PLC系統 |
西門子 |
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電器系統 |
施耐德 |
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變頻器 |
西門子2KW |
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觸摸屏 |
10.7寸 |
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處理氣體 |
O2 Ar2 N2 H2 CF4 | |
